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無壓燒結(jié)碳化硅陶瓷

發(fā)布時間:2020-03-23 22:31:00
碳化硅的無壓燒結(jié)可以分成固相燒結(jié)與液相燒結(jié)二種。固相燒結(jié)是美國科學家Prochazka于1974年首先發(fā)明。他在亞微米級的β-SiC中添加少量的B與C,實現(xiàn)SiC無壓燒結(jié),制得接近理論密度95%的致密燒結(jié)體。以后的許多研究表明B與B的化合物和Al與Al的化合物均可以與SiC形成固溶體而促進燒結(jié)。碳的加入是與SiC表面的SiO2反應增加表面能均對燒結(jié)有利。固相燒結(jié)的SiC,晶界較為“干凈”,基本無液相存在,晶粒在高溫下很易長大。因此斷裂時是穿晶斷裂,它們強度與斷裂韌性一般都不高,在300~450MPa與3.5~4.5MPa·m1/2。但它晶界較為“干凈”,高溫強度并不隨溫度的升高而變化,一般能用到1600℃,強度不發(fā)生變化。在固相燒結(jié)中SiC-AlN系統(tǒng)很值得注意,由于它具有良好的電阻與導熱性,有可能是一種廉價的大規(guī)模集成電路的基板材料。
碳化硅的液相燒結(jié)是美國科學家Mulla.M.A于九十年代初解決的。它的主要燒結(jié)添加劑是Y2O3-Al2O3。根據(jù)其相圖可知,存在三個低共熔化合物,YAG(Y3Al5O15,熔點1760℃),YAP(YAlO3,熔點為1850℃),YAM(Y4Al2O9,熔點為1940℃)。為了降低燒結(jié)溫度一般采用YAG為SiC的燒結(jié)添加劑。當YAG的組成達到質(zhì)量分數(shù)為6%時,碳化硅材料已基本達到致密化。燒結(jié)過程會發(fā)生Al2O3的主要組份的質(zhì)量流失,使添加劑的組份達不到Y(jié)AG的組成。因此應適當將Al2O3的組份增加,將YAG的組份變成YAG·Al2O3,此時材料的相對密度從98%提高到99%,幾乎完全致密。材料的強度從600MPa提高到707MPa。斷裂韌性從8.1MPa·m1/2提高到10.7MPa·m1/2。此結(jié)果非常引人注目。它的出現(xiàn)更開拓了無壓燒結(jié)SiC的新應用面,尤其是性能要求較高的工況。

無壓燒結(jié)碳化硅力學性能與添加劑、燒結(jié)溫度、顯微結(jié)構(gòu)的不同而有差異,具體見表。

不同添加劑的無壓燒結(jié)碳化硅的性能

不同添加劑的無壓燒結(jié)碳化硅的性能表


無壓燒結(jié)碳化硅換熱器

無錫市錢橋化工機械有限公司所生產(chǎn)的碳化硅換熱器設備均使用無壓燒結(jié)碳化硅。

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